Lingua originale | Inglese |
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Numero di brevetto | 2006/106556 A1 |
Stato di pubblicazione | Pubblicato - 12 ott 2006 |
Keywords
- Microelettronics
- Plasma etch process
- Quality control
Diego Zappa (Inventore), Giuseppe Fazio (Inventore), Roberto Colombo (Inventore)
Risultato della ricerca: Brevetto
Lingua originale | Inglese |
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Numero di brevetto | 2006/106556 A1 |
Stato di pubblicazione | Pubblicato - 12 ott 2006 |