WIPO (World Intellectual Property Organization) Method and system for facilitating the determination of the end-point in plasma etching process

Diego Zappa (Inventore), Giuseppe Fazio (Inventore), Roberto Colombo (Inventore)

Risultato della ricerca: Brevetto

Lingua originaleInglese
Numero di brevetto2006/106556 A1
Stato di pubblicazionePubblicato - 12 ott 2006

Keywords

  • Microelettronics
  • Plasma etch process
  • Quality control

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