Spatial Defect Pattern Recognition on Semiconductor Wafers

Diego Zappa, Riccardo Borgoni, Luigi Radaelli

Risultato della ricerca: Contributo in rivistaArticolo in rivistapeer review

Abstract

NA
Lingua originaleEnglish
pagine (da-a)61-67
Numero di pagine7
RivistaFUTURE FAB INTERNATIONAL
Stato di pubblicazionePubblicato - 2010

Keywords

  • CONTROL CHARTS
  • DEFETCT DISTRIBUTION
  • SPATIAL ANALYSIS

Fingerprint Entra nei temi di ricerca di 'Spatial Defect Pattern Recognition on Semiconductor Wafers'. Insieme formano una fingerprint unica.

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