LogVariance modeling of wafer surface

Diego Zappa, Riccardo Borgoni, 27494, FINANZIARIE E ASSICURATIVE FACOLTA' DI SCIENZE BANCARIE, MILANO - Dipartimento di Scienze statistiche, Luigi Radaelli, Valeria Tritto

Risultato della ricerca: Contributo in libroContributo a convegno

Abstract

N/A
Lingua originaleEnglish
Titolo della pubblicazione ospiteStatistical Methods applied in microelectronics
Pagine1
Numero di pagine1
Stato di pubblicazionePubblicato - 2011
EventoStatistical Methods applied in microelectronics - Itala
Durata: 13 giu 201113 giu 2011

Workshop

WorkshopStatistical Methods applied in microelectronics
CittàItala
Periodo13/6/1113/6/11

Keywords

  • logvariance model
  • spatial sampling

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